Tungsten hekzaflorür (WF6), bir CVD işlemi yoluyla gofretin yüzeyinde biriktirilir, metal ara bağlantı kanallarını doldurur ve katmanlar arasında metal ara bağlantıyı oluşturur.
Önce plazmadan bahsedelim.Plazma, esas olarak serbest elektronlardan ve yüklü iyonlardan oluşan bir madde şeklidir.Evrende yaygın olarak bulunur ve genellikle maddenin dördüncü hali olarak kabul edilir.Buna “Plazma” da denilen plazma hali denir.Plazma yüksek elektriksel iletkenliğe sahiptir ve elektromanyetik alanla güçlü bir bağlantı etkisine sahiptir.Elektronlar, iyonlar, serbest radikaller, nötr parçacıklar ve fotonlardan oluşan kısmen iyonize bir gazdır.Plazmanın kendisi, fiziksel ve kimyasal olarak aktif parçacıklar içeren elektriksel olarak nötr bir karışımdır.
Basit açıklama, yüksek enerjinin etkisi altında molekülün van der Waals kuvvetinin, kimyasal bağ kuvvetinin ve Coulomb kuvvetinin üstesinden geleceği ve bir bütün olarak bir tür nötr elektrik sunacağıdır.Aynı zamanda, dışarının verdiği yüksek enerji, yukarıdaki üç gücün üstesinden gelir.İşlev, elektronlar ve iyonlar, yarı iletken aşındırma işlemi, CVD işlemi, PVD ve IMP işlemi gibi bir manyetik alanın modülasyonu altında yapay olarak kullanılabilen serbest bir durum sunar.
Yüksek enerji nedir?Teorik olarak, hem yüksek sıcaklık hem de yüksek frekanslı RF kullanılabilir.Genel olarak konuşursak, yüksek sıcaklık elde etmek neredeyse imkansızdır.Bu sıcaklık gereksinimi çok yüksektir ve güneşin sıcaklığına yakın olabilir.Bu süreçte elde etmek temelde imkansızdır.Bu nedenle, endüstri bunu başarmak için genellikle yüksek frekanslı RF kullanır.Plazma RF, 13MHz+'e kadar ulaşabilir.
Tungsten hekzaflorür, bir elektrik alanının etkisi altında plazmalaştırılır ve daha sonra bir manyetik alan tarafından buharla biriktirilir.W atomları kış kaz tüylerine benzer ve yerçekimi etkisi altında yere düşer.Yavaş yavaş, W atomları açık deliklere biriktirilir ve sonunda metal ara bağlantılar oluşturmak için tam delikler doldurulur.Açık deliklerde W atomları biriktirmeye ek olarak, Gofretin yüzeyinde de birikecekler mi?Evet kesinlikle.Genel olarak anlatmak gerekirse mekanik taşlama işlemi dediğimiz W-CMP işlemini sökmek için kullanabilirsiniz.Bu, şiddetli kardan sonra yeri süpürmek için bir süpürge kullanmaya benzer.Yerdeki kar süpürülür ama yerdeki çukurdaki kar kalır.Aşağı, aşağı yukarı aynı.
Gönderim zamanı: 24 Aralık 2021
