Tungsten hekzaflorür (WF6), CVD işlemi yoluyla gofretin yüzeyine biriktirilir, metal bağlantı hendeklerini doldurur ve katmanlar arasındaki metal bağlantısını oluşturur.
Önce plazmadan bahsedelim. Plazma, esas olarak serbest elektronlar ve yüklü iyonlardan oluşan bir madde biçimidir. Evrende yaygın olarak bulunur ve genellikle maddenin dördüncü hali olarak kabul edilir. Plazma hali veya "Plazma" olarak da adlandırılır. Plazma, yüksek elektriksel iletkenliğe sahiptir ve elektromanyetik alanla güçlü bir bağlanma etkisine sahiptir. Elektronlardan, iyonlardan, serbest radikallerden, nötr parçacıklardan ve fotonlardan oluşan kısmen iyonlaşmış bir gazdır. Plazmanın kendisi ise fiziksel ve kimyasal olarak aktif parçacıklar içeren elektriksel olarak nötr bir karışımdır.
Basit açıklama, yüksek enerjinin etkisi altında molekülün van der Waals kuvvetini, kimyasal bağ kuvvetini ve Coulomb kuvvetini yenerek bir bütün olarak nötr bir elektrik formu sunacağıdır. Aynı zamanda, dışarıdan gelen yüksek enerji yukarıdaki üç kuvveti de yener. Fonksiyon, elektronlar ve iyonlar, yarı iletken aşındırma işlemi, CVD işlemi, PVD ve IMP işlemi gibi bir manyetik alanın modülasyonu altında yapay olarak kullanılabilen serbest bir durum sunar.
Yüksek enerji nedir? Teoride hem yüksek sıcaklık hem de yüksek frekanslı RF kullanılabilir. Genel olarak, yüksek sıcaklığa ulaşmak neredeyse imkansızdır. Bu sıcaklık gereksinimi çok yüksektir ve güneş sıcaklığına yakın olabilir. Bu işlem sırasında elde edilmesi neredeyse imkansızdır. Bu nedenle, endüstri bunu elde etmek için genellikle yüksek frekanslı RF kullanır. Plazma RF 13 MHz+'a kadar ulaşabilir.
Tungsten hekzaflorür, bir elektrik alanının etkisi altında plazmalaştırılır ve ardından bir manyetik alan tarafından buharlaştırılır. W atomları kış kaz tüylerine benzer ve yerçekiminin etkisi altında yere düşer. Yavaşça, W atomları deliklere biriktirilir ve sonunda metal bağlantıları oluşturmak için delikler tamamen doldurulur. W atomlarını deliklere biriktirmenin yanı sıra, bunlar Gofret yüzeyine de biriktirilecek mi? Evet, kesinlikle. Genel olarak, çıkarmak için mekanik taşlama işlemi dediğimiz W-CMP işlemini kullanabilirsiniz. Bu, yoğun kardan sonra zemini süpürgeyle süpürmeye benzer. Yerdeki kar süpürülür, ancak yerdeki delikte bulunan kar kalır. Aşağı, aşağı yukarı aynı.
Gönderim zamanı: 24 Aralık 2021
