Tungsten heksaflorür (WF6), bir CVD işlemi yoluyla levhanın yüzeyinde biriktirilir, metal ara bağlantı hendekleri doldurulur ve katmanlar arasındaki metal ara bağlantı oluşturulur.
Önce plazmadan bahsedelim. Plazma, esas olarak serbest elektronlardan ve yüklü iyonlardan oluşan bir madde şeklidir. Evrende yaygın olarak bulunur ve sıklıkla maddenin dördüncü hali olarak kabul edilir. Buna “Plazma” olarak da adlandırılan plazma durumu denir. Plazma yüksek elektrik iletkenliğine sahiptir ve elektromanyetik alanla güçlü bir eşleşme etkisine sahiptir. Elektronlardan, iyonlardan, serbest radikallerden, nötr parçacıklardan ve fotonlardan oluşan kısmen iyonize bir gazdır. Plazmanın kendisi fiziksel ve kimyasal olarak aktif parçacıklar içeren elektriksel olarak nötr bir karışımdır.
Basit açıklama, yüksek enerjinin etkisi altında molekülün van der Waals kuvvetini, kimyasal bağ kuvvetini ve Coulomb kuvvetini yeneceği ve bir bütün olarak nötr elektrik formu sunacağıdır. Aynı zamanda dışarıdan gelen yüksek enerji yukarıdaki üç kuvveti yener. Fonksiyon, elektronlar ve iyonlar, yarı iletken aşındırma işlemi, CVD işlemi, PVD ve IMP işlemi gibi manyetik alanın modülasyonu altında yapay olarak kullanılabilen serbest bir durum sunar.
Yüksek enerji nedir? Teorik olarak hem yüksek sıcaklık hem de yüksek frekanslı RF kullanılabilir. Genel olarak konuşursak, yüksek sıcaklığa ulaşmak neredeyse imkansızdır. Bu sıcaklık gereksinimi çok yüksektir ve güneşin sıcaklığına yakın olabilir. Bu süreçte başarmak temelde imkansızdır. Bu nedenle endüstri bunu başarmak için genellikle yüksek frekanslı RF kullanır. Plazma RF 13MHz+'a kadar çıkabilir.
Tungsten heksaflorür, bir elektrik alanının etkisi altında plazmalaştırılır ve daha sonra bir manyetik alan tarafından buharla biriktirilir. W atomları kışlık kaz tüylerine benzer ve yerçekimi etkisiyle yere düşer. Yavaş yavaş, W atomları açık deliklere biriktirilir ve sonunda metal ara bağlantılar oluşturmak için deliklerden tamamen doldurulur. Açık deliklere W atomları biriktirmenin yanı sıra, bunlar Gofretin yüzeyinde de birikecek mi? Evet, kesinlikle. Genel anlamda mekanik taşlama işlemi dediğimiz W-CMP işlemini ortadan kaldırmak için kullanabilirsiniz. Yoğun kar yağışından sonra yerleri süpürmek için süpürge kullanmaya benzer. Yerdeki kar süpürülür ama yerdeki delikteki kar kalır. Aşağı, aşağı yukarı aynı.
Gönderim zamanı: 24 Aralık 2021
