Bileşen | %99,9999 | Birim |
Oksijen (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azot | ≤0,1 | ppmV |
Hidrojen | ≤20 | ppmV |
Helyum | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorosilanlar | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Nem (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan, silisyum ve hidrojen bileşiğidir. Monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) ve bazı yüksek seviyeli silisyum-hidrojen bileşikleri dahil olmak üzere bir dizi bileşiğin genel adıdır. Bunlar arasında monosilan en yaygın olanıdır ve bazen kısaca silan olarak anılır. Silan, iğrenç bir sarımsak kokusuna sahip renksiz bir gazdır. Suda çözünür, etanol, eter, benzen, kloroform, silisyum kloroform ve silisyum tetraklorürde neredeyse çözünmez. Silanların kimyasal özellikleri alkanlardan çok daha aktiftir ve kolayca oksitlenirler. Hava ile temas ettiğinde kendiliğinden tutuşabilir. 25°C'nin altındaki azotla reaksiyona girmez ve oda sıcaklığında hidrokarbon bileşikleriyle reaksiyona girmez. Silanın yanması ve patlaması oksijenle reaksiyonun sonucudur. Silan oksijene ve havaya karşı son derece hassastır. Belirli bir konsantrasyondaki silan, -180°C'lik bir sıcaklıkta oksijenle de patlayıcı bir reaksiyona girer. Silan, yarı iletken mikroelektronik süreçlerinde kullanılan en önemli özel gaz haline gelmiştir ve tek kristal filmler, mikrokristalin, polikristalin, silisyum oksit, silisyum nitrür ve metal silisitler dahil olmak üzere çeşitli mikroelektronik filmlerin hazırlanmasında kullanılır. Silanın mikroelektronik uygulamaları hala derinlemesine gelişmektedir: düşük sıcaklık epitaksisi, seçici epitaksi ve heteroepitaksiyel epitaksi. Sadece silisyum aygıtlar ve silisyum entegre devreler için değil, aynı zamanda bileşik yarı iletken aygıtlar (galyum arsenit, silisyum karbür vb.) için de kullanılır. Ayrıca süper kafes kuantum kuyusu malzemelerinin hazırlanmasında da uygulamaları vardır. Silanın modern zamanlarda neredeyse tüm gelişmiş entegre devre üretim hatlarında kullanıldığı söylenebilir. Silanın silisyum içeren film ve kaplama olarak uygulanması geleneksel mikroelektronik endüstrisinden çelik, makine, kimyasallar ve optik gibi çeşitli alanlara yayılmıştır. Silanın bir diğer potansiyel uygulama alanı ise yüksek performanslı seramik motor parçalarının imalatı olup, özellikle silisit (Si3N4, SiC, vb.) mikrotoz teknolojisinin üretiminde silanın kullanımı giderek daha fazla ilgi görmektedir.
①Elektronik:
Silan, yarı iletkenlerin ve sızdırmazlık malzemelerinin üretiminde silikon gofretler üzerindeki polikristalin silikon katmanlarına uygulanır.
②Güneş:
Silan, güneş fotovoltaik modül üretiminde kullanılır.
③Endüstriyel:
Enerji Tasarruflu Yeşil Cam'da kullanılır ve buhar biriktirme ince film işlemine uygulanır.
Ürün | Silan SiH4 Sıvısı | |
Paket Boyutu | 47Ltr Silindir | Y-440L |
Dolum Net Ağırlığı/Silindir | 10 kg | 125 kg |
20'lik Konteynere Yüklenen Miktar | 250 Silindir | 8Silindir |
Toplam Net Ağırlık | 2,5 Ton | 1 ton |
Silindir Boş Ağırlığı | 52 kg | 680 kg |
Vana | CGA632/DISS632 |
①Piyasada on yıldan fazla süredir;
②ISO sertifikalı üretici;
③Hızlı teslimat;
④Kararlı hammadde kaynağı;
⑤Her aşamada kalite kontrolü için çevrimiçi analiz sistemi;
⑥Silindirin doldurulmasından önce yüksek gereksinim ve titiz işlem;
⑦Saflık: yüksek saflıkta elektronik sınıf;
⑧Kullanım alanları: Güneş pili malzemeleri; yüksek saflıkta polisilikon, silisyum oksit ve optik fiber üretimi; renkli cam üretimi.