Bileşen | %99,9999 | Birim |
Oksijen (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azot | ≤0,1 | ppmV |
Hidrojen | ≤20 | ppmV |
Helyum | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorosilanlar | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilan | ≤0,1 | ppmV |
Nem (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan, silikon ve hidrojenden oluşan bir bileşiktir. Monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) ve bazı yüksek seviyeli silikon-hidrojen bileşiklerini içeren bir dizi bileşik için genel bir terimdir. Bunların arasında monosilan en yaygın olanıdır ve bazen kısaca silan olarak da anılır. Silan, iğrenç sarımsak kokusuna sahip renksiz bir gazdır. Suda çözünür, etanol, eter, benzen, kloroform, silikon kloroform ve silikon tetraklorürde neredeyse çözünmez. Silanların kimyasal özellikleri alkanlara göre çok daha aktiftir ve kolaylıkla oksitlenirler. Havayla temas ettiğinde kendiliğinden yanma meydana gelebilir. 25°C'nin altında nitrojenle reaksiyona girmez, oda sıcaklığında hidrokarbon bileşikleriyle reaksiyona girmez. Silanın yanması ve patlaması oksijenle reaksiyonunun sonucudur. Silan oksijene ve havaya karşı son derece hassastır. Belirli bir konsantrasyona sahip silan, -180°C sıcaklıkta oksijenle de patlayıcı bir şekilde reaksiyona girecektir. Silan, yarı iletken mikroelektronik işlemlerde kullanılan en önemli özel gaz haline geldi ve tek kristal filmler, mikrokristalin, polikristalin, silikon oksit, silikon nitrür ve metal silisitler dahil olmak üzere çeşitli mikroelektronik filmlerin hazırlanmasında kullanıldı. Silanın mikroelektronik uygulamaları hala derinlemesine gelişmektedir: düşük sıcaklıkta epitaksi, seçici epitaksi ve heteroepitaksiyel epitaksi. Yalnızca silikon cihazlar ve silikon entegre devreler için değil, aynı zamanda bileşik yarı iletken cihazlar (galyum arsenit, silisyum karbür vb.) için de geçerlidir. Aynı zamanda süper örgü kuantum kuyusu malzemelerinin hazırlanmasında da uygulamaları vardır. Günümüzde gelişmiş entegre devre üretim hatlarının hemen hemen hepsinde silanın kullanıldığı söylenebilir. Silanın silikon içeren bir film ve kaplama olarak uygulanması, geleneksel mikroelektronik endüstrisinden çelik, makine, kimyasallar ve optik gibi çeşitli alanlara doğru genişlemiştir. Silanın diğer bir potansiyel uygulaması, yüksek performanslı seramik motor parçalarının imalatıdır; özellikle silanın silisit (Si3N4, SiC, vb.) üretiminde kullanılması, mikro toz teknolojisi giderek daha fazla ilgi çekmektedir.
①Elektronik:
Silan, yarı iletkenler ve sızdırmazlık malzemeleri üretilirken silikon plakalar üzerindeki polikristalin silikon katmanlara uygulanır.
②Güneş:
Silan, güneş fotovoltaik modül imalatında kullanılır.
③Endüstriyel:
Enerji Tasarruflu Yeşil Cam'da kullanılır ve buhar biriktirme ince film prosesine uygulanır.
Ürün | Silan SiH4 Sıvı | |
Paket Boyutu | 47Ltr Silindir | Y-440L |
Net Ağırlık/Silindir Dolum | 10Kg | 125Kg |
20'lik Konteynerde Yüklenen Adet | 250 Silindir | 8Silindir |
Toplam Net Ağırlık | 2,5 Ton | 1 ton |
Silindir Dara Ağırlığı | 52Kg | 680Kg |
Vana | CGA632/DISS632 |
①Piyasada on yıldan fazla;
②ISO sertifika üreticisi;
③Hızlı teslimat;
④Kararlı hammadde kaynağı;
⑤Her adımda kalite kontrolü için çevrimiçi analiz sistemi;
⑥Doldurmadan önce silindirin taşınması için yüksek gereksinim ve titiz süreç;
⑦Saflık: yüksek saflıkta elektronik sınıf;
⑧Kullanım: güneş pili malzemeleri; yüksek saflıkta polisilikon, silikon oksit ve optik fiber yapımı; renkli cam imalatı.