Karbon tetraflorür nedir? Ne işe yarar?

Nedir?karbon tetraflorürNe işe yarar ki?

Karbon tetraflorürTetraflorometan olarak da bilinen karbon tetraflorür, inorganik bir bileşik olarak kabul edilir. Çeşitli entegre devrelerin plazma aşındırma işleminde kullanılır ve ayrıca lazer gazı ve soğutucu olarak da kullanılır. Normal sıcaklık ve basınç altında nispeten kararlıdır, ancak güçlü oksitleyiciler, yanıcı veya tutuşabilir maddelerle temasından kaçınılması gerekir. Karbon tetraflorür yanıcı olmayan bir gazdır. Yüksek ısıya maruz kalırsa, kabın iç basıncının artmasına neden olur ve çatlama ve patlama tehlikesi vardır. Genellikle oda sıcaklığında sadece sıvı amonyak-sodyum metal reaktifi ile etkileşime girebilir.

Karbon tetraflorürŞu anda mikroelektronik endüstrisinde kullanılan en büyük plazma aşındırma gazıdır. Silikon, silikon dioksit, fosfosilikat cam ve diğer ince film malzemelerinin aşındırılmasında, elektronik cihazların yüzey temizliğinde, güneş pili üretiminde, lazer teknolojisinde, gaz fazı yalıtımında, düşük sıcaklıkta soğutmada, sızıntı tespit maddelerinde ve baskılı devre üretiminde deterjan olarak çok sayıda uygulama alanına sahiptir.