ElektronikÖzel Gazlarözel gazların önemli bir dalıdır. Yarı iletken üretiminin hemen hemen her bağlantısına nüfuz ederler ve ultra büyük ölçekli entegre devreler, düz panel ekran cihazları ve güneş hücreleri gibi elektronik endüstrilerin üretimi için vazgeçilmez hammaddelerdir.

Yarı iletken teknolojisinde, flor içeren gazlar yaygın olarak kullanılmaktadır. Şu anda, küresel elektronik gaz piyasasında, flor içeren elektronik gazlar toplamın yaklaşık% 30'unu oluşturmaktadır. Flor içeren elektronik gazlar, elektronik bilgi malzemeleri alanındaki özel elektronik gazların önemli bir bileşenidir. Esas olarak temizlik ajanları ve aşındırma ajanları olarak kullanılırlar ve ayrıca katkılar, film oluşturan malzemeler vb. Olarak da kullanılabilir. Bu makalede, yazar sizi ortak flor içeren gazları anlamaya götürecektir.

Aşağıdakiler yaygın olarak kullanılan flor içeren gazlar

Azot triflorür (NF3): Genellikle reaksiyon odalarını ve ekipman yüzeylerini temizlemek için kullanılan yatakların temizlenmesi ve çıkarılması için kullanılan bir gaz.

Sülfür hekzaflorür (SF6): Oksit biriktirme işlemlerinde kullanılan bir florlama ajanı ve yalıtım ortamını doldurmak için bir yalıtım gazı olarak.

Hidrojen florür (HF): Silikon yüzeyinden oksitleri ve silikon ve diğer malzemeler için bir etchant olarak kullanılır.

Azot florür (NF): Silikon nitrür (SIN) ve alüminyum nitrür (ALN) gibi malzemeleri aşındırmak için kullanılır.

Triflorometan (CHF3) veTetrafluorometan (CF4): Silikon florür ve alüminyum florür gibi florür malzemelerini aşındırmak için kullanılır.

Bununla birlikte, flor içeren gazların toksisite, aşınabilirlik ve yanıcı gibi bazı tehlikeleri vardır.

Toksisite

Buhar cilt ve solunum yolu için oldukça tahriş edici ve insan sağlığına zararlı olan hidrojen florür (HF) gibi flor içeren bazı gazlar toksiktir.

Aşındırıcılık

Hidrojen florür ve bazı florürler oldukça aşındırıcıdır ve cilt, göz ve solunum yolunda ciddi hasara neden olabilir.

Alevlendirme

Bazı florürler yanıcıdır ve yoğun ısı ve toksik gazları serbest bırakmak için havada oksijen veya su ile reaksiyona girer, bu da yangın veya patlamaya neden olabilir.

Yüksek basınçlı tehlike

Bazı florlu gazlar yüksek basınç altında patlayıcıdır ve kullanıldığında ve depolandığında özel bakım gerektirir.

Çevre üzerindeki etki

Flor içeren gazlar, atmosferik ozon tabakası üzerinde yıkıcı bir etkiye sahip olan ve küresel ısınmaya ve çevre kirliliğine neden olabilecek yüksek atmosferik yaşamlara ve GWP değerlerine sahiptir.

Elektronik gibi gelişmekte olan alanlarda gazların uygulanması derinleşmeye devam ederek endüstriyel gazlar için büyük miktarda yeni talep getiriyor. Önümüzdeki birkaç yıl içinde Çin anakarasındaki yarı iletkenler ve ekran panelleri gibi büyük elektronik bileşenlerin büyük miktarda yeni üretim kapasitesine ve elektronik kimyasal malzemelerin ithalat yerine güçlü talebe dayanarak, yurtiçi elektronik gaz endüstrisi yüksek büyüme oranını artıracaktır.