Elektroniközel gazlarözel gazların önemli bir dalıdır. Yarı iletken üretiminin hemen hemen her bağlantısına nüfuz ederler ve ultra büyük ölçekli entegre devreler, düz panel görüntüleme cihazları ve güneş pilleri gibi elektronik endüstrilerinin üretimi için vazgeçilmez hammaddelerdir.

Yarı iletken teknolojisinde flor içeren gazlar yaygın olarak kullanılmaktadır. Şu anda küresel elektronik gaz pazarında, flor içeren elektronik gazlar toplamın yaklaşık %30'unu oluşturmaktadır. Flor içeren elektronik gazlar, elektronik bilgi materyalleri alanında özel elektronik gazların önemli bir bileşenidir. Bunlar esas olarak temizlik maddeleri ve aşındırma maddeleri olarak kullanılırlar ve aynı zamanda katkı maddesi, film oluşturucu malzeme vb. olarak da kullanılabilirler. Bu makalede yazar, yaygın olarak kullanılan flor içeren gazları anlamanızı sağlayacaktır.

Aşağıdakiler yaygın olarak kullanılan flor içeren gazlardır

Nitrojen triflorür (NF3): Genellikle reaksiyon odalarını ve ekipman yüzeylerini temizlemek için kullanılan, tortuları temizlemek ve çıkarmak için kullanılan bir gaz.

Kükürt heksaflorür (SF6): Oksit biriktirme işlemlerinde ve yalıtım ortamını doldurmak için yalıtım gazı olarak kullanılan bir florlama maddesi.

Hidrojen florür (HF): Silikon yüzeyinden oksitleri çıkarmak için ve silikon ve diğer malzemeleri aşındırmak için bir dağlayıcı olarak kullanılır.

Azot florür (NF): Silikon nitrür (SiN) ve alüminyum nitrür (AlN) gibi malzemeleri aşındırmak için kullanılır.

Triflorometan (CHF3) vetetraflorometan (CF4): Silikon florür ve alüminyum florür gibi florürlü malzemeleri aşındırmak için kullanılır.

Bununla birlikte, flor içeren gazların toksisite, aşındırıcılık ve yanıcılık gibi belirli tehlikeleri vardır.

Toksisite

Buharı cildi ve solunum yollarını oldukça tahriş eden ve insan sağlığına zararlı olan hidrojen florür (HF) gibi bazı flor içeren gazlar toksiktir.

Aşındırıcılık

Hidrojen florür ve bazı florürler oldukça aşındırıcıdır ve ciltte, gözlerde ve solunum yollarında ciddi hasara neden olabilir.

Yanıcılık

Bazı florürler yanıcıdır ve havadaki oksijen veya suyla reaksiyona girerek yangına veya patlamaya neden olabilecek yoğun ısı ve zehirli gazlar açığa çıkarır.

Yüksek basınç tehlikesi

Bazı florlu gazlar yüksek basınç altında patlayıcıdır ve kullanıldığında ve saklandığında özel dikkat gerektirir.

Çevre üzerindeki etki

Flor içeren gazlar yüksek atmosferik ömürlere ve GWP değerlerine sahip olup, atmosferik ozon tabakası üzerinde yıkıcı etki yaparak küresel ısınmaya ve çevre kirliliğine neden olabilmektedir.

Gazların elektronik gibi yeni gelişen alanlardaki uygulamaları derinleşmeye devam ediyor ve endüstriyel gazlara yönelik büyük miktarda yeni talep ortaya çıkıyor. Önümüzdeki birkaç yıl içinde Çin ana karasında yarı iletkenler ve ekran panelleri gibi önemli elektronik bileşenlerin büyük miktarda yeni üretim kapasitesinin yanı sıra elektronik kimyasal malzemelerin ithal ikamesine yönelik güçlü talebe dayanarak, yerli elektronik gaz endüstrisi, yüksek bir büyüme oranı.