Elektroniközel gazlarÖzel gazların önemli bir dalını oluştururlar. Yarı iletken üretiminin neredeyse her aşamasına nüfuz ederler ve ultra büyük ölçekli entegre devreler, düz panel ekran cihazları ve güneş pilleri gibi elektronik endüstrilerinin üretiminde vazgeçilmez hammaddelerdir.

Yarı iletken teknolojisinde flor içeren gazlar yaygın olarak kullanılmaktadır. Şu anda küresel elektronik gaz pazarında flor içeren elektronik gazlar toplamın yaklaşık %30'unu oluşturmaktadır. Flor içeren elektronik gazlar, elektronik bilgi işlem malzemeleri alanında özel elektronik gazların önemli bir bileşenidir. Başlıca temizlik maddesi ve aşındırma maddesi olarak kullanılırlar, ayrıca katkı maddesi, film oluşturucu malzeme vb. olarak da kullanılabilirler. Bu makalede, yazar sizi yaygın flor içeren gazlar hakkında bilgilendirecektir.

Aşağıda yaygın olarak kullanılan flor içeren gazlar yer almaktadır.

Azot triflorür (NF3): Genellikle reaksiyon odalarının ve ekipman yüzeylerinin temizlenmesinde kullanılan, tortuları temizlemek ve gidermek için kullanılan bir gazdır.

Kükürt heksaflorür (SF6)Florür, oksit kaplama işlemlerinde ve yalıtım malzemelerini doldurmak için kullanılan bir yalıtım gazıdır.

Hidrojen florür (HF): Silikon yüzeyindeki oksitleri gidermek ve silikon ve diğer malzemeleri aşındırmak için aşındırıcı olarak kullanılır.

Azot florür (NF): Silisyum nitrür (SiN) ve alüminyum nitrür (AlN) gibi malzemeleri aşındırmak için kullanılır.

Trifluorometan (CHF3) vetetraflorometan (CF4)Silisyum florür ve alüminyum florür gibi florürlü malzemeleri aşındırmak için kullanılır.

Ancak flor içeren gazların zehirlilik, aşındırıcılık ve yanıcılık gibi bazı tehlikeleri vardır.

Toksisite

Hidrojen florür (HF) gibi bazı flor içeren gazlar zehirlidir; HF'nin buharı cilt ve solunum yolları için son derece tahriş edicidir ve insan sağlığına zararlıdır.

Aşındırıcılık

Hidrojen florür ve bazı florürler oldukça aşındırıcıdır ve ciltte, gözlerde ve solunum yollarında ciddi hasara neden olabilir.

Yanıcılık

Bazı florürler yanıcıdır ve havadaki oksijen veya su ile reaksiyona girerek yoğun ısı ve zehirli gazlar açığa çıkarır; bu da yangına veya patlamaya neden olabilir.

Yüksek basınç tehlikesi

Bazı florlu gazlar yüksek basınç altında patlayıcıdır ve kullanım ve depolama sırasında özel dikkat gerektirir.

Çevre üzerindeki etki

Flor içeren gazlar, yüksek atmosferik ömürleri ve küresel ısınma potansiyeli (GWP) değerleri nedeniyle atmosferdeki ozon tabakasına zarar verir ve küresel ısınmaya ve çevre kirliliğine neden olabilir.

Elektronik gibi gelişmekte olan alanlarda gazların kullanımı giderek derinleşmekte ve bu da endüstriyel gazlara yönelik büyük bir yeni talep yaratmaktadır. Önümüzdeki birkaç yıl içinde Çin anakarasında yarı iletkenler ve ekran panelleri gibi başlıca elektronik bileşenlerin üretim kapasitesinin artması ve elektronik kimyasal maddelerin ithalatının yerini yerli kaynaklara bırakma talebinin güçlü olması göz önüne alındığında, yerli elektronik gaz endüstrisi yüksek bir büyüme oranına girecektir.