Yaygın olarak kullanılan flor içeren özel elektronik gazlar şunları içerir:kükürt heksaflorür (SF6), tungsten heksaflorür (WF6),karbon tetraflorür (CF4), triflorometan (CHF3), nitrojen triflorür (NF3), heksafloroetan (C2F6) ve oktafloropropan (C3F8).
Nanoteknolojinin gelişmesi ve elektronik sektörünün büyük çapta gelişmesiyle birlikte talebi her geçen gün artacaktır. Panellerin ve yarı iletkenlerin üretiminde ve işlenmesinde vazgeçilmez ve en çok kullanılan özel elektronik gaz olarak nitrojen triflorür geniş bir pazar alanına sahiptir.
Flor içeren özel bir gaz türü olarak,nitrojen triflorür (NF3)en büyük pazar kapasitesine sahip elektronik özel gaz ürünüdür. Oda sıcaklığında kimyasal olarak inerttir, yüksek sıcaklıkta oksijenden daha aktiftir, flordan daha kararlıdır ve işlenmesi kolaydır. Azot triflorür esas olarak plazma aşındırma gazı ve reaksiyon odası temizleme maddesi olarak kullanılır ve yarı iletken çipler, düz panel ekranlar, optik fiberler, fotovoltaik hücreler vb. üretim alanları için uygundur.
Diğer flor içeren elektronik gazlarla karşılaştırıldığında,nitrojen triflorürhızlı reaksiyon ve yüksek verim avantajlarına sahiptir. Özellikle silikon nitrür gibi silikon içeren malzemelerin aşındırılmasında yüksek aşındırma hızına ve seçiciliğe sahiptir, kazınmış nesnenin yüzeyinde hiçbir kalıntı bırakmaz. Aynı zamanda çok iyi bir temizlik maddesidir ve yüzeyde kirlilik oluşturmaz, bu da işleme sürecinin ihtiyaçlarını karşılayabilir.
Gönderim zamanı: 14 Eylül 2024
