Yaygın olarak bulunan flor içeren özel elektronik gazlar şunlardır:kükürt heksaflorür (SF6), tungsten heksaflorür (WF6),karbon tetraflorür (CF4)triflorometan (CHF3), azot triflorür (NF3), heksafloroetan (C2F6) ve oktafloropropan (C3F8).
Nanoteknolojinin gelişmesi ve elektronik endüstrisinin büyük ölçekli büyümesiyle birlikte, talebi de gün geçtikçe artacaktır. Panellerin ve yarı iletkenlerin üretim ve işlenmesinde vazgeçilmez ve en yaygın kullanılan özel elektronik gaz olan azot triflorürün geniş bir pazar alanı bulunmaktadır.
Flor içeren özel bir gaz türü olarak,azot triflorür (NF3)Elektronik sektöründe en büyük pazar payına sahip özel gaz ürünüdür. Oda sıcaklığında kimyasal olarak inerttir, yüksek sıcaklıkta oksijenden daha aktiftir, florinden daha kararlıdır ve kullanımı kolaydır. Azot triflorür esas olarak plazma aşındırma gazı ve reaksiyon odası temizleme maddesi olarak kullanılır ve yarı iletken çipler, düz panel ekranlar, optik fiberler, fotovoltaik hücreler vb. üretim alanları için uygundur.
Diğer flor içeren elektronik gazlarla karşılaştırıldığında,azot triflorürHızlı reaksiyon ve yüksek verimlilik avantajlarına sahiptir. Özellikle silisyum nitrür gibi silisyum içeren malzemelerin aşındırılmasında yüksek aşındırma hızı ve seçiciliğe sahip olup, aşındırılan nesnenin yüzeyinde kalıntı bırakmaz. Ayrıca çok iyi bir temizleme maddesidir ve yüzeye kirlilik yapmaz, bu da işleme sürecinin ihtiyaçlarını karşılayabilir.
Yayın tarihi: 14 Eylül 2024
