Yaygın flor içeren özel elektronik gazlar şunları içerir:kükürt hekzaflorür (SF6), tungsten heksaflorür (WF6),karbon tetraflorür (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorür (NF3), hekzafloroetan (C2F6) ve oktafloropropan (C3F8).
Nanoteknolojinin gelişmesi ve elektronik endüstrisinin büyük ölçekli gelişimiyle birlikte talebi her geçen gün artacaktır. Panel ve yarı iletkenlerin üretim ve işlenmesinde vazgeçilmez ve en çok kullanılan özel elektronik gazı olan azot triflorür, geniş bir pazar alanına sahiptir.
Flor içeren özel bir gaz türü olarak,azot triflorür (NF3)En büyük pazar kapasitesine sahip elektronik özel gaz ürünüdür. Oda sıcaklığında kimyasal olarak inerttir, yüksek sıcaklıkta oksijenden daha aktiftir, flordan daha kararlıdır ve kullanımı kolaydır. Azot triflorür esas olarak plazma aşındırma gazı ve reaksiyon odası temizleme maddesi olarak kullanılır ve yarı iletken yongalar, düz panel ekranlar, optik fiberler, fotovoltaik hücreler vb. üretim alanları için uygundur.
Diğer flor içeren elektronik gazlarla karşılaştırıldığında,azot triflorürHızlı reaksiyon ve yüksek verimlilik avantajlarına sahiptir. Özellikle silisyum nitrür gibi silisyum içeren malzemelerin aşındırılmasında, yüksek aşındırma hızı ve seçiciliğe sahiptir ve aşındırılan nesnenin yüzeyinde kalıntı bırakmaz. Aynı zamanda çok iyi bir temizlik maddesidir ve yüzeyde kirlilik yaratmaz, bu da işleme sürecinin ihtiyaçlarını karşılayabilir.
Gönderim zamanı: 14 Eylül 2024
