Flor içeren yaygın özel elektronik gazlarSülfür hekzaflorür (SF6), tungsten hexafluorid (WF6),Karbon tetraflorür (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorür (NF3), heksafloroetan (C2F6) ve oktafluoropropan (C3F8).
Nanoteknolojinin gelişimi ve elektronik endüstrisinin büyük ölçekli gelişimi ile talebi her gün artacaktır. Panel ve yarı iletkenlerin üretiminde ve işlenmesinde vazgeçilmez ve en büyük kullanılan özel elektronik gaz olarak azot triflorür, geniş bir pazar alanına sahiptir.
Bir tür flor içeren özel gaz olarak,Azot triflorür (NF3)en büyük pazar kapasitesine sahip elektronik özel gaz ürünüdür. Oda sıcaklığında kimyasal olarak inerttir, yüksek sıcaklıkta oksijenden daha aktiftir, flortan daha stabil ve kullanımı kolaydır. Azot triflorür esas olarak bir plazma gravür gazı ve bir reaksiyon odası temizleme maddesi olarak kullanılır ve yarı iletken yongalar, düz panel ekranları, optik fiberler, fotovoltaik hücreler, vb. Üretim alanları için uygundur.
Diğer flor içeren elektronik gazlarla karşılaştırıldığında,azot triflorürHızlı reaksiyon ve yüksek verimlilik avantajlarına sahiptir. Özellikle silikon nitrür gibi silikon içeren malzemelerin dağlanmasında, yüksek aşındırma oranına ve seçiciliğe sahiptir ve kazınmış nesnenin yüzeyinde kalıntı bırakmaz. Aynı zamanda çok iyi bir temizlik ajanıdır ve işleme sürecinin ihtiyaçlarını karşılayabilecek yüzeyde kirliliği yoktur.
Gönderme Zamanı: Eylül-14-2024
