2018 yılında, entegre devreler için küresel elektronik gaz pazarı, yıllık %16 artışla 4,512 milyar ABD dolarına ulaştı. Yarı iletkenler için elektronik özel gaz endüstrisinin yüksek büyüme hızı ve pazarın büyüklüğü, elektronik özel gazın yurt içinde ikame planını hızlandırdı!
Elektron gazı nedir?
Elektronik gaz, yarı iletkenler, düz panel ekranlar, ışık yayan diyotlar, güneş pilleri ve diğer elektronik ürünlerin üretiminde kullanılan temel kaynak malzemeyi ifade eder ve temizleme, aşındırma, film oluşturma, doping ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılır. Elektronik gazın başlıca uygulama alanları arasında elektronik endüstrisi, güneş pilleri, mobil iletişim, araç navigasyonu ve araç ses ve görüntü sistemleri, havacılık ve uzay, askeri sanayi ve diğer birçok alan yer alır.
Elektronik özel gazları, kimyasal bileşimlerine göre yedi kategoriye ayrılabilir: silisyum, arsenik, fosfor, bor, metal hidrit, halojenür ve metal alkoksit. Entegre devrelerdeki farklı uygulama yöntemlerine göre ise katkı gazı, epitaksi gazı, iyon aşılama gazı, ışık yayan diyot gazı, aşındırma gazı, kimyasal buhar biriktirme gazı ve denge gazı. Yarı iletken endüstrisinde 110'dan fazla özel gaz kullanılmakta olup, bunların 30'dan fazlası yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yarı iletken üretim endüstrisi genellikle gazları iki türe ayırır: yaygın gazlar ve özel gazlar. Bunlar arasında yaygın olarak kullanılan gaz, merkezi bir tedarik anlamına gelir ve N2, H2, O2, Ar, He vb. gibi çok miktarda gaz kullanır. Özel gaz ise, yarı iletken üretim sürecinde kullanılan bazı kimyasal gazları ifade eder; örneğin, uzatma, iyon enjeksiyonu, karıştırma, yıkama ve maske oluşumu gibi. Bunlara artık elektronik özel gazlar diyoruz. Bunlara yüksek saflıkta SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 vb. örnek verilebilir.
Yarı iletken endüstrisinin tüm üretim sürecinde, çip üretiminden son cihaz paketlemesine kadar neredeyse her halka elektronik özel gazla ayrılmaz bir bütündür ve kullanılan gazın çeşitliliği ve yüksek kalite gereksinimleri nedeniyle elektronik gaz, yarı iletken malzemelerden oluşur. "Gıda".
Son yıllarda, Çin'in yarı iletkenler ve ekran panelleri gibi başlıca elektronik bileşenlerinin yeni üretim kapasitesi artmış ve elektronik kimyasal malzemelerin ithal ikamesine yönelik güçlü bir talep oluşmuştur. Elektronik gazların yarı iletken endüstrisindeki konumu giderek daha önemli hale gelmiştir. Yerel elektronik gaz endüstrisi hızlı bir büyümeye öncülük edecektir.
Elektronik özel gazın saflık gereksinimleri çok yüksektir, çünkü saflık gerekliliklere uygun değilse, elektronik özel gazdaki su buharı ve oksijen gibi safsızlık grupları, yarı iletkenin yüzeyinde kolayca oksit filmi oluşturur ve bu da elektronik cihazların kullanım ömrünü etkiler. Elektronik özel gaz, safsızlık parçacıkları içerir ve bu parçacıklar yarı iletkenlerde kısa devrelere ve devre hasarına neden olabilir. Saflığın iyileştirilmesinin, elektronik cihaz üretiminin verimi ve performansında hayati bir rol oynadığı söylenebilir.
Yarı iletken endüstrisinin sürekli gelişmesiyle birlikte, çip üretim süreci de gelişmeye devam ediyor ve artık 5 nm'ye ulaşmış durumda. Bu, insan saçının çapının yirmide birine (yaklaşık 0,1 mm) denk gelen Moore Yasası sınırına yaklaşıyor. Dolayısıyla, bu durum yarı iletkenler tarafından üretilen elektronik özel gazın saflığı konusunda da daha yüksek gereksinimler ortaya çıkarıyor.
Gönderim zamanı: 15 Aralık 2021
