2018 yılında, entegre devreler için küresel elektronik gaz pazarı 4,512 milyar ABD dolarına ulaşarak bir önceki yıla göre %16 artış gösterdi. Yarı iletkenler için elektronik özel gaz endüstrisinin yüksek büyüme oranı ve devasa pazar büyüklüğü, elektronik özel gazın yerli ikame planını hızlandırdı!
Elektron gazı nedir?
Elektronik gaz, yarı iletkenlerin, düz panel ekranların, ışık yayan diyotların, güneş pillerinin ve diğer elektronik ürünlerin üretiminde kullanılan temel hammaddeyi ifade eder ve temizleme, aşındırma, film oluşturma, katkılama ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılır. Elektronik gazın başlıca uygulama alanları arasında elektronik endüstrisi, güneş pilleri, mobil iletişim, otomobil navigasyonu ve otomobil ses ve video sistemleri, havacılık ve uzay sanayi, askeri sanayi ve daha birçok alan yer almaktadır.
Elektronik özel gazlar, kimyasal bileşimlerine göre yedi kategoriye ayrılabilir: silisyum, arsenik, fosfor, bor, metal hidrit, halojenür ve metal alkoksit. Entegre devrelerdeki farklı uygulama yöntemlerine göre ise katkılama gazı, epitaksi gazı, iyon implantasyon gazı, ışık yayan diyot gazı, aşındırma gazı, kimyasal buhar biriktirme gazı ve denge gazı olarak sınıflandırılabilir. Yarı iletken endüstrisinde kullanılan 110'dan fazla özel gaz bulunmaktadır ve bunların 30'dan fazlası yaygın olarak kullanılmaktadır.
Genel olarak, yarı iletken üretim endüstrisi gazları iki tipe ayırır: yaygın kullanılan gazlar ve özel gazlar. Bunlardan yaygın kullanılan gazlar, merkezi bir tedarik sistemine sahip olan ve çok miktarda kullanılan gazlardır; örneğin N2, H2, O2, Ar, He vb. Özel gazlar ise yarı iletken üretim sürecinde kullanılan bazı kimyasal gazlardır; örneğin uzatma, iyon enjeksiyonu, karıştırma, yıkama ve maske oluşturma gibi işlemlerde kullanılan ve günümüzde elektronik özel gazlar olarak adlandırılan gazlardır; yüksek saflıkta SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 vb.
Yarı iletken endüstrisinin tüm üretim sürecinde, çip üretiminden nihai cihaz paketlemesine kadar neredeyse her aşama elektronik özel gazlardan ayrı düşünülemez ve kullanılan gazların çeşitliliği ve yüksek kalite gereksinimleri nedeniyle elektronik gazlar, yarı iletken malzemeler için adeta bir "besin" niteliğindedir.
Son yıllarda Çin'in yarı iletkenler ve ekran panelleri gibi başlıca elektronik bileşenlerinde yeni üretim kapasitesi artmış ve elektronik kimyasal maddelerin ithalatının yerine yerli üretime yönelik güçlü bir talep oluşmuştur. Elektronik gazların yarı iletken endüstrisindeki konumu giderek daha belirgin hale gelmiştir. Yerli elektronik gaz endüstrisi hızlı bir büyüme dönemine girecektir.
Elektronik özel gazların saflık gereksinimleri çok yüksektir, çünkü saflık gereksinimleri karşılamazsa, elektronik özel gazdaki su buharı ve oksijen gibi safsızlık grupları yarı iletken yüzeyinde kolayca oksit tabakası oluşturarak elektronik cihazların kullanım ömrünü etkiler ve elektronik özel gazın içerdiği safsızlık parçacıkları yarı iletkenlerde kısa devreye ve devre hasarına neden olabilir. Bu nedenle, saflığın iyileştirilmesi, elektronik cihaz üretiminin verimliliği ve performansı açısından hayati bir rol oynar.
Yarı iletken endüstrisinin sürekli gelişmesiyle birlikte, çip üretim süreci de sürekli olarak iyileşmekte ve şu anda 5 nm'ye ulaşmıştır; bu da Moore Yasası'nın sınırına yaklaşmaktadır ve insan saçının çapının yirmide birine (yaklaşık 0,1 mm) eşdeğerdir. Bu nedenle, bu durum yarı iletkenler tarafından üretilen elektronik özel gazın saflığına ilişkin daha yüksek gereksinimler de ortaya koymaktadır.
Yayın tarihi: 15 Aralık 2021
