2018 yılında, entegre devreler için küresel elektronik gaz piyasası, yıllık%16 artışla 4.512 milyar ABD dolarına ulaştı. Yarı iletkenler ve büyük pazar büyüklüğü için elektronik özel gaz endüstrisinin yüksek büyüme oranı, elektronik özel gazın yerel ikame planını hızlandırdı!
Elektron gazı nedir?
Elektronik gaz, yarı iletkenler, düz panel ekranları, ışık yayan diyotlar, güneş pilleri ve diğer elektronik ürünlerin üretiminde kullanılan temel kaynak malzemeyi ifade eder ve temizlik, aşındırma, film oluşumu, doping ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılır. Elektronik gazın ana uygulama alanları arasında elektronik endüstrisi, güneş pilleri, mobil iletişim, araba navigasyonu ve araba ses ve video sistemleri, havacılık, askeri endüstri ve diğer birçok alan bulunmaktadır.
Elektronik özel gaz kendi kimyasal bileşimine göre yedi kategoriye ayrılabilir: silikon, arsenik, fosfor, bor, metal hidrit, halid ve metal alkoksit. Entegre devrelerdeki farklı uygulama yöntemlerine göre, doping gazı, epitaksi gazı, iyon implantasyon gazı, ışık yayan diyot gazı, gravür gazı, kimyasal buhar biriktirme gazı ve denge gazına ayrılabilir. Yarı iletken endüstrisinde kullanılan ve 30'dan fazla yaygın olarak kullanılan 110'dan fazla birim özel gaz vardır.
Genel olarak, yarı iletken üretim endüstrisi gazları iki türe ayırır: ortak gazlar ve özel gazlar. Bunlar arasında, yaygın olarak kullanılan gaz merkezi bir kaynağı ifade eder ve N2, H2, O2, AR, He gibi çok fazla gaz kullanır. Özel gaz, uzatma, iyon enjeksiyonu, karıştırma, yıkama ve maske oluşumu gibi yarı iletken üretimi sürecinde kullanılan bazı kimyasal gazları ifade eder; NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, vb.
Yarı iletken endüstrisinin tüm üretim sürecinde, çip büyümesinden son cihaz ambalajına kadar, hemen hemen her bağlantı elektronik özel gazdan ve kullanılan gaz ve yüksek kalite gereksinimlerinden ayrılamaz, bu nedenle elektronik gazın yarı iletken malzemeleri vardır. "Yiyecek".
Son yıllarda, Çin'in yarı iletkenler ve ekran panelleri gibi ana elektronik bileşenleri yeni üretim kapasitesinde artmıştır ve elektronik kimyasal malzemelerin ithalat ikamesi için güçlü bir talep vardır. Yarı iletken endüstrisindeki elektronik gazların konumu giderek daha belirgin hale gelmiştir. Yerli elektronik gaz endüstrisi hızlı büyümeye başlayacak.
Elektronik özel gazın saflık için çok yüksek gereksinimleri vardır, çünkü eğer saflık gereksinimlere uygun değilse, elektronik özel gazdaki su buharı ve oksijen gibi safsızlık grupları, yarı iletken yüzeyinde kolayca oksit film oluşturur, bu da elektronik özel gaz, saflıkların kısa süreçleri içerebilir ve devre hasarı olabilir. Saflığın iyileştirilmesinin elektronik cihaz üretiminin veriminde ve performansında hayati bir rol oynadığı söylenebilir.
Yarı iletken endüstrisinin sürekli gelişimi ile çip üretim süreci iyileşmeye devam ediyor ve şimdi, bir insan saçının (yaklaşık 0.1 mm) çapının yirmesinde eşdeğer Moore yasasının sınırına yaklaşmak üzere olan 5nm'ye ulaştı. Bu nedenle, bu aynı zamanda yarı iletkenler tarafından üretilen elektronik özel gazın saflığına daha yüksek gereksinimler ortaya koymaktadır.
Gönderme Zamanı:-15-2021