Hidrojen klorürkeskin bir kokuya sahip renksiz bir gazdır. Sulu çözeltisine hidroklorik asit olarak da bilinen hidroklorik asit denir. Hidrojen klorür suda çok çözünür. 0 ° C'de 1 hacim su yaklaşık 500 hacim hidrojen klorürü çözebilir.

Aşağıdaki özelliklere ve özelliklere sahiptir:

1. Yüksek saflık

Elektronik sınıfın saflığıhidrojen klorüryarı iletken üretim sürecine hiçbir safsızlık verilmemesini sağlamak için genellikle PPM veya daha düşük seviyede çok yüksektir.

2. Tersinlik

Yarı iletken malzeme ve ekipmanların kontaminasyonunu önlemek için çok önemli olan diğer birçok madde ile reaksiyona girmeyen kimyasal olarak inert bir gazdır.

3. Yüksek istikrar

Elektronik sınıfhidrojen klorürGenellikle güvenilir yarı iletken işleme sağlamak için kararlı kimyaya sahiptir.

Yarı iletken işlemede, elektronik dereceli hidrojen klorürün ana uygulamaları şunları içerir:

1. Yüzey temizliği ve hazırlığı

Verimli bir yüzey temizleyici olarak, elektronik sınıfhidrojen klorürepitaksiyal tabaka veya filmin kalitesini ve saflığını sağlamak için substrat yüzeyinden oksit ve safsızlıkları uzaklaştırmak için kullanılır.

2.ökaksiyal büyüme yardımı

Epitaksiyal süreçte bir yüzey işlem maddesi olarak kullanılan, epitaksiyal tabakanın kalitesini iyileştirmeye, kafes eşleşmesini iyileştirmeye ve kafes kusurlarının oluşumunu azaltmaya yardımcı olur.

3. Substrat Ön Tedavi

Yarıiletken cihazların hazırlanmasından önce elektronik sınıfhidrojen klorürepitaksiyal tabaka ve substrat arasındaki yapışmayı iyileştirmek için substrat yüzeyini tedavi etmek için kullanılabilir.

4. Biriktirme Yardımcı ajan

Kimyasal buhar birikimi (CVD) veya fiziksel buhar birikimi (PVD) sürecinde, elektronik dereceli hidrojen klorür, yarı iletken malzemelerin biriktirme reaksiyonuna katılmak için bir gaz fazı transfer ortamı olarak kullanılabilir.

5. Gaz fazı transfer maddesi

Bir gaz fazı transfer maddesi olarak, malzemenin birikme oranını ve homojenliğini ayarlamaya yardımcı olmak için reaksiyon odasına diğer gaz öncüleri eklenir.

Bu özellikler elektronik sınıf yaparhidrojen klorürSon cihazın performansı ve güvenilirliği üzerinde önemli bir etkisi olan yarı iletken teknolojisinde önemli bir işleme ajanı.

Yarıiletken işlemede kullanımına ek olarak, elektronik dereceli hidrojen klorür, yüksek saflıkta malzemelerin hazırlanması, yakıt hücreleri, yarı iletken malzeme büyümesi, buhar fazı litografisi, malzeme analizi, kimyasal araştırma dahil olmak üzere çeşitli kullanımlar bulabilir.

Genel olarak, elektronik sınıfhidrojen klorüryarı iletken üretimi dışında çok çeşitli uygulamalara sahip çok yönlü, yüksek saflıkta bir gazdır.