Elektronik endüstrisinde lazer gazı esas olarak lazer tavlama ve litografi gazı olarak kullanılmaktadır. Cep telefonu ekranlarındaki yenilikler ve uygulama alanlarının genişlemesiyle birlikte, düşük sıcaklıkta polikristal silikon pazarının ölçeği daha da genişleyecek ve lazer tavlama işlemi TFT'lerin performansını önemli ölçüde iyileştirmiştir. Yarı iletken üretiminde kullanılan ArF eksimer lazerde neon, flor ve argon gazları arasında neon, lazer gaz karışımının %96'sından fazlasını oluşturmaktadır. Yarı iletken teknolojisinin gelişmesiyle birlikte eksimer lazerlerin kullanımı artmış ve çift pozlama teknolojisinin 도입 edilmesi, ArF eksimer lazerler tarafından tüketilen neon gazına olan talebin keskin bir şekilde artmasına yol açmıştır. Elektronik özel gazlarının yerlileştirilmesinin teşvik edilmesinden faydalanan yerli üreticiler, gelecekte daha iyi bir pazar büyüme alanına sahip olacaklardır.
Litografi makinesi, yarı iletken üretiminin temel ekipmanıdır. Litografi, transistörlerin boyutunu belirler. Litografi endüstri zincirinin koordineli gelişimi, litografi makinesinin atılımının anahtarıdır. Fotorezist, fotolitografi gazı, fotomask ve kaplama ve geliştirme ekipmanı gibi eşleşen yarı iletken malzemeler yüksek teknolojik içeriğe sahiptir. Litografi gazı, litografi makinesinin derin ultraviyole lazer ürettiği gazdır. Farklı litografi gazları, farklı dalga boylarında ışık kaynakları üretebilir ve dalga boyları, litografi makinesinin çözünürlüğünü doğrudan etkiler; bu da litografi makinesinin temel unsurlarından biridir. 2020 yılında, litografi makinelerinin toplam küresel satışları 413 adet olup, bunun 258 adedi (%62), Canon'un 122 adedi (%30) ve Nikon'un 33 adedi (%8) satışlarını oluşturmuştur.
Yayın tarihi: 15 Ekim 2021
