Bor triklorür (BCl3)Yarı iletken üretiminde kuru aşındırma ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemlerinde yaygın olarak kullanılan inorganik bir bileşiktir. Oda sıcaklığında keskin ve keskin bir kokuya sahip renksiz bir gazdır ve hidrolize olarak hidroklorik asit ve borik asit ürettiği için nemli havaya duyarlıdır.

Bor Triklorürün Uygulamaları

Yarı iletken endüstrisinde,Bor triklorürEsas olarak alüminyumun kuru aşındırılmasında ve silikon plakalar üzerinde P tipi bölgeler oluşturmak için katkı maddesi olarak kullanılır. Ayrıca GaAs, Si, AlN gibi malzemeleri aşındırmak ve belirli uygulamalarda bor kaynağı olarak da kullanılabilir. Bor triklorür ayrıca metal işleme, cam endüstrisi, kimyasal analiz ve laboratuvar araştırmalarında yaygın olarak kullanılır.

Bor Triklorürün Güvenliği

Bor triklorürAşındırıcı ve toksiktir ve gözlere ve cilde ciddi zararlar verebilir. Nemli havada hidrolize olarak toksik hidrojen klorür gazı açığa çıkarır. Bu nedenle, kullanım sırasında uygun güvenlik önlemlerinin alınması gerekir.Bor triklorürkoruyucu giysiler, gözlükler ve solunum koruma ekipmanlarının giyilmesi ve iyi havalandırılan bir ortamda çalışılması da dahil olmak üzere.