Bor triklorür (BCL3)yarı iletken üretiminde kuru dağlama ve kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemlerinde yaygın olarak kullanılan inorganik bir bileşiktir. Oda sıcaklığında güçlü bir keskin kokuya sahip renksiz bir gazdır ve nemli havaya duyarlıdır, çünkü hidroklorik asit ve borik asit üretmek için hidrolize olur.

Bor triklorür uygulamaları

Yarıiletken endüstrisinde,Boron triklorüresas olarak alüminyumun kuru aşınması için ve silikon gofretler üzerinde P tipi bölgeler oluşturmak için bir dopant olarak kullanılır. Ayrıca, belirli uygulamalarda GAAS, SI, ALN ve bir bor kaynağı olarak malzemeleri aşındırmak için de kullanılabilir. Ek olarak, bor triklorür metal işleme, cam endüstrisi, kimyasal analiz ve laboratuvar araştırmalarında yaygın olarak kullanılmaktadır.

Bor triklorürün güvenliği

Boron triklorüraşındırıcı ve toksiktir ve gözlere ve cilde ciddi hasara neden olabilir. Toksik hidrojen klorür gazı salgılamak için nemli havada hidrolize olur. Bu nedenle, işlenirken uygun güvenlik önlemlerinin alınması gerekir.Boron triklorürkoruyucu giysiler, gözlükler ve solunum koruma ekipmanları giymek ve iyi havalandırılmış bir ortamda çalışmak dahil.