Bor triklorür (BCl3)Yarı iletken üretiminde kuru aşındırma ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemlerinde yaygın olarak kullanılan inorganik bir bileşiktir. Oda sıcaklığında keskin ve güçlü bir kokuya sahip renksiz bir gazdır ve hidrolize olarak hidroklorik asit ve borik asit ürettiği için nemli havaya karşı hassastır.

Bor Triklorürün Uygulamaları

Yarı iletken endüstrisinde,Boron triklorürEsas olarak alüminyumun kuru aşındırılmasında ve silikon levhalar üzerinde P tipi bölgeler oluşturmak için katkı maddesi olarak kullanılır. Ayrıca GaAs, Si, AlN gibi malzemelerin aşındırılmasında ve belirli uygulamalarda bor kaynağı olarak da kullanılabilir. Ek olarak, bor triklorür metal işleme, cam endüstrisi, kimyasal analiz ve laboratuvar araştırmalarında yaygın olarak kullanılmaktadır.

Boron Triklorürün Güvenliği

Boron triklorürAşındırıcı ve zehirlidir ve gözlere ve cilde ciddi zararlar verebilir. Nemli havada hidrolize olarak zehirli hidrojen klorür gazı açığa çıkarır. Bu nedenle, kullanımı sırasında uygun güvenlik önlemleri alınmalıdır.Boron triklorürKoruyucu giysi, gözlük ve solunum koruma ekipmanı giymek ve iyi havalandırılmış bir ortamda çalışmak da dahil olmak üzere gerekli önlemleri almak.