Ultra yüksek saflıktaki (UHP) gazlar, yarı iletken endüstrisinin can damarıdır. Benzeri görülmemiş talep ve küresel tedarik zincirlerindeki aksaklıklar ultra yüksek basınçlı gazın fiyatını artırırken, yeni yarı iletken tasarım ve üretim uygulamaları, ihtiyaç duyulan kirlilik kontrol seviyesini artırıyor. Yarı iletken üreticileri için, UHP gazının saflığını garanti altına almak her zamankinden daha önemli.

Ultra Yüksek Saflıktaki (UHP) Gazlar Modern Yarı İletken Üretiminde Kesinlikle Kritik Öneme Sahiptir

UHP gazının temel uygulamalarından biri inertleştirmedir: UHP gazı, yarı iletken bileşenlerin etrafında koruyucu bir atmosfer oluşturarak onları atmosferdeki nem, oksijen ve diğer kirleticilerin zararlı etkilerinden korumak için kullanılır. Ancak inertleştirme, gazların yarı iletken endüstrisinde gerçekleştirdiği birçok farklı işlevden sadece biridir. Birincil plazma gazlarından aşındırma ve tavlamada kullanılan reaktif gazlara kadar, ultra yüksek basınçlı gazlar birçok farklı amaç için kullanılır ve yarı iletken tedarik zinciri boyunca olmazsa olmazdır.

Yarı iletken endüstrisindeki "çekirdek" gazlardan bazıları şunlardır:azot(genel temizlik ve inert gaz olarak kullanılır),argon(aşındırma ve biriktirme reaksiyonlarında birincil plazma gazı olarak kullanılır),helyum(özel ısı transfer özelliklerine sahip inert bir gaz olarak kullanılır) vehidrojen(tavlama, biriktirme, epitaksi ve plazma temizlemede birden fazla rol oynar).

Yarı iletken teknolojisi gelişip değiştikçe, üretim sürecinde kullanılan gazlar da değişmiştir. Günümüzde yarı iletken üretim tesisleri, asal gazlardan, örneğin:kriptonVeneonAzot triflorür (NF 3 ) ve tungsten hekzaflorür (WF 6 ) gibi reaktif türlere.

Saflığa yönelik artan talep

İlk ticari mikroçipin icadından bu yana, dünya yarı iletken cihazların performansında neredeyse üstel bir artışa tanık oldu. Son beş yılda, bu tür bir performans iyileştirmesini elde etmenin en kesin yollarından biri "boyut ölçekleme" olmuştur: Belirli bir alana daha fazla transistör sığdırmak için mevcut çip mimarilerinin temel boyutlarının küçültülmesi. Buna ek olarak, yeni çip mimarilerinin geliştirilmesi ve en son teknoloji malzemelerin kullanımı, cihaz performansında büyük sıçramalara yol açmıştır.

Günümüzde, son teknoloji yarı iletkenlerin kritik boyutları o kadar küçük ki, boyut ölçeklendirme artık cihaz performansını iyileştirmenin uygulanabilir bir yolu değil. Bunun yerine, yarı iletken araştırmacıları yeni malzemeler ve 3B çip mimarileri şeklinde çözümler arıyor.

Onlarca yıldır süren yorulmak bilmez yeniden tasarımlar, günümüzün yarı iletken cihazlarının eski mikroçiplerden çok daha güçlü, ancak aynı zamanda daha kırılgan olduğu anlamına geliyor. 300 mm yonga üretim teknolojisinin ortaya çıkışı, yarı iletken üretimi için gereken safsızlık kontrol seviyesini artırdı. Bir üretim sürecindeki en ufak bir kirlilik bile (özellikle nadir veya inert gazlar) felaketle sonuçlanabilecek ekipman arızalarına yol açabilir; bu nedenle gaz saflığı artık her zamankinden daha önemli.

Tipik bir yarı iletken üretim tesisi için ultra yüksek saflıktaki gaz, silikonun kendisinden sonra en büyük malzeme gideridir. Yarı iletkenlere olan talep yeni zirvelere ulaştıkça bu maliyetlerin daha da artması bekleniyor. Avrupa'daki olaylar, gergin ultra yüksek basınçlı doğal gaz piyasasında ek aksaklıklara neden oldu. Ukrayna, dünyanın en büyük yüksek saflıktaki doğal gaz ihracatçılarından biridir.neonişaretler; Rusya'nın işgali, nadir bulunan bu gazın arzının kısıtlandığı anlamına geliyor. Bu da, diğer soy gazlarda kıtlığa ve fiyatların yükselmesine yol açtı.kriptonVeksenon.