Ultra yüksek saflıkta (UHP) gazlar, yarı iletken endüstrisinin can damarıdır. Benzeri görülmemiş talep ve küresel tedarik zincirlerindeki aksamalar ultra yüksek basınçlı gazın fiyatını yükseltirken, yeni yarı iletken tasarım ve üretim uygulamaları, gereken kirlilik kontrol seviyesini de artırmaktadır. Yarı iletken üreticileri için, UHP gazının saflığını sağlamak her zamankinden daha önemlidir.

Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) Gazlar, Modern Yarı İletken Üretiminde Kesinlikle Kritik Öneme Sahiptir

Ultra yüksek basınçlı gazların başlıca uygulamalarından biri inertleştirmedir: Ultra yüksek basınçlı gaz, yarı iletken bileşenlerin etrafında koruyucu bir atmosfer sağlamak için kullanılır ve böylece onları atmosferdeki nem, oksijen ve diğer kirleticilerin zararlı etkilerinden korur. Bununla birlikte, inertleştirme, gazların yarı iletken endüstrisinde gerçekleştirdiği birçok farklı işlevden sadece biridir. Birincil plazma gazlarından, aşındırma ve tavlamada kullanılan reaktif gazlara kadar, ultra yüksek basınçlı gazlar birçok farklı amaç için kullanılır ve yarı iletken tedarik zincirinin tamamında vazgeçilmezdir.

Yarı iletken endüstrisinde kullanılan "temel" gazlardan bazıları şunlardır:azot(Genel temizlik ve inert gaz olarak kullanılır),argon(aşındırma ve biriktirme reaksiyonlarında birincil plazma gazı olarak kullanılır),helyum(özel ısı transfer özelliklerine sahip inert bir gaz olarak kullanılır) vehidrojen(Tavlama, biriktirme, epitaksi ve plazma temizleme işlemlerinde çok yönlü roller üstlenir).

Yarı iletken teknolojisi gelişip değiştikçe, üretim sürecinde kullanılan gazlar da değişti. Günümüzde yarı iletken üretim tesisleri, asal gazlar gibi geniş bir yelpazede gaz kullanmaktadır.kriptonVeneonAzot triflorür (NF₃) ve tungsten heksaflorür (WF₆) gibi reaktif türlere.

Saflığa olan talebin artması

İlk ticari mikroçipin icadından bu yana, dünya yarı iletken cihazların performansında şaşırtıcı, neredeyse üstel bir artışa tanık oldu. Son beş yılda, bu tür bir performans iyileştirmesini sağlamanın en kesin yollarından biri "boyut ölçeklendirme" olmuştur: daha fazla transistörü belirli bir alana sığdırmak için mevcut çip mimarilerinin temel boyutlarını küçültmek. Buna ek olarak, yeni çip mimarilerinin geliştirilmesi ve en son teknoloji ürünü malzemelerin kullanımı, cihaz performansında büyük sıçramalara yol açmıştır.

Günümüzde, en gelişmiş yarı iletkenlerin kritik boyutları o kadar küçülmüştür ki, boyut küçültme artık cihaz performansını iyileştirmenin uygulanabilir bir yolu değildir. Bunun yerine, yarı iletken araştırmacıları yeni malzemeler ve 3 boyutlu çip mimarileri şeklinde çözümler aramaktadır.

On yıllarca süren yorulmak bilmeyen yeniden tasarımlar, günümüzün yarı iletken cihazlarını eski mikroçiplerden çok daha güçlü hale getirdi; ancak aynı zamanda daha kırılganlar. 300 mm'lik wafer üretim teknolojisinin ortaya çıkması, yarı iletken üretiminde gereken safsızlık kontrolü seviyesini artırdı. Üretim sürecindeki en ufak bir kirlenme bile (özellikle nadir veya inert gazlar) ekipman arızasına yol açabilir; bu nedenle gaz saflığı artık her zamankinden daha önemli.

Tipik bir yarı iletken üretim tesisi için, ultra yüksek saflıktaki gaz, silikonun kendisinden sonra en büyük malzeme giderini oluşturmaktadır. Yarı iletkenlere olan talep yeni zirvelere ulaştıkça bu maliyetlerin daha da artması beklenmektedir. Avrupa'daki olaylar, gergin ultra yüksek basınçlı doğal gaz piyasasında ek aksamalara neden olmuştur. Ukrayna, dünyanın en büyük yüksek saflıkta gaz ihracatçılarından biridir.neonİşaretler; Rusya'nın işgali, nadir bulunan gazın tedarikinin kısıtlanması anlamına geliyor. Bu da, diğer soylu gazların (örneğin, oksijen, oksijen, karbondioksit ...kriptonVeksenon.