Karbon Tetraflorür (CF4)

Teknik Parametreler

Karbon tetraflorür, kimyasal formülü CF4 olan halojenli bir hidrokarbondur. Halojenli hidrokarbon, halojenli metan, perflorokarbon veya inorganik bir bileşik olarak kabul edilebilir. Karbon tetraflorür, renksiz ve kokusuz bir gazdır, suda çözünmez, benzen ve kloroformda çözünür. Normal sıcaklık ve basınç altında stabildir, güçlü oksitleyicilerden, yanıcı veya tutuşabilir maddelerden uzak tutulmalıdır. Yanıcı olmayan bir gazdır, yüksek ısıya maruz kaldığında kabın iç basıncı artar ve çatlama ve patlama tehlikesi vardır. Kimyasal olarak stabildir ve yanıcı değildir. Oda sıcaklığında sadece sıvı amonyak-sodyum metal reaktifi ile çalışabilir. Karbon tetraflorür, sera etkisi yaratan bir gazdır. Çok kararlıdır, atmosferde uzun süre kalabilir ve çok güçlü bir sera gazıdır. Karbon tetraflorür, çeşitli entegre devrelerin plazma aşındırma işleminde kullanılır. Lazer gazı olarak da kullanılır ve düşük sıcaklık soğutucularında, çözücülerde, yağlayıcılarda, yalıtım malzemelerinde ve kızılötesi dedektörler için soğutucularda kullanılır. Mikroelektronik endüstrisinde en çok kullanılan plazma aşındırma gazıdır. Yüksek saflıkta tetraflorometan gazı ve yüksek saflıkta oksijen karışımıdır. Silikon, silikon dioksit, silikon nitrür ve fosfosilikat camda yaygın olarak kullanılabilir. Tungsten ve tungsten gibi ince film malzemelerinin aşındırılmasında da yaygın olarak kullanılır; ayrıca elektronik cihazların yüzey temizliğinde, güneş pili üretiminde, lazer teknolojisinde, düşük sıcaklık soğutmasında, sızıntı kontrolünde ve baskılı devre üretiminde deterjan olarak kullanılır. Entegre devreler için düşük sıcaklık soğutucu ve plazma kuru aşındırma teknolojisinde kullanılır. Saklama önlemleri: Serin, havalandırılmış, yanıcı olmayan bir gaz deposunda saklayın. Ateş ve ısı kaynaklarından uzak tutun. Saklama sıcaklığı 30°C'yi geçmemelidir. Kolay tutuşabilen yanıcı maddelerden ve oksitleyicilerden ayrı olarak saklanmalı ve karışık depolamadan kaçınılmalıdır. Depolama alanı, sızıntı acil durum müdahale ekipmanıyla donatılmalıdır.

Başvuru:

① Soğutucu madde:

Tetraflorometan bazen düşük sıcaklık soğutucu olarak kullanılır.

② Gravür:

Elektronik mikrofabrikasyonda tek başına veya oksijenle birlikte silikon, silikon dioksit ve silikon nitrür için plazma aşındırıcı olarak kullanılır.

Normal paket:

Avantaj:

①Yüksek saflıkta, en son teknolojiye sahip tesis;

②ISO sertifikalı üretici;

③Hızlı teslimat;

④Her aşamada kalite kontrolü için çevrimiçi analiz sistemi;

⑤Doldurma işleminden önce silindirin işlenmesi için yüksek gereksinimler ve titiz bir süreç;