Karbon Tetraflorür (CF4)

Teknik Parametreler

Karbon tetraflorür, CF4 kimyasal formülüne sahip halojenlenmiş bir hidrokarbondur. Halojenlenmiş hidrokarbon, halojenlenmiş metan, perflorokarbon veya inorganik bir bileşik olarak kabul edilebilir. Karbon tetraflorür, suda çözünmeyen, benzen ve kloroformda çözünen, renksiz ve kokusuz bir gazdır. Normal sıcaklık ve basınç altında stabildir; güçlü oksidanlardan, yanıcı veya yanıcı malzemelerden kaçının. Yanıcı olmayan gaz, yüksek ısıya maruz kaldığında kabın iç basıncı artacağından çatlama ve patlama tehlikesi vardır. Kimyasal olarak stabildir ve yanıcı değildir. Yalnızca sıvı amonyak-sodyum metal reaktifi oda sıcaklığında çalışabilir. Karbon tetraflorür sera etkisine neden olan bir gazdır. Oldukça kararlıdır, atmosferde uzun süre kalabilmektedir ve çok güçlü bir sera gazıdır. Karbon tetraflorür, çeşitli entegre devrelerin plazma aşındırma işleminde kullanılır. Aynı zamanda lazer gazı olarak da kullanılır ve düşük sıcaklıktaki soğutucularda, solventlerde, yağlayıcılarda, yalıtım malzemelerinde ve kızılötesi dedektörler için soğutucularda kullanılır. Mikroelektronik endüstrisinde en çok kullanılan plazma aşındırma gazıdır. Tetraflorometan yüksek saflıkta gaz ve tetraflorometan yüksek saflıkta gaz ve yüksek saflıkta oksijenin bir karışımıdır. Silikon, silikon dioksit, silikon nitrür ve fosfosilikat camlarda yaygın olarak kullanılabilir. Tungsten ve tungsten gibi ince film malzemelerinin aşındırılması, elektronik cihazların yüzey temizliğinde, güneş pili üretiminde, lazer teknolojisinde, düşük sıcaklıkta soğutmada, sızıntı kontrolünde ve baskılı devre üretiminde deterjanlarda da yaygın olarak kullanılmaktadır. Entegre devreler için düşük sıcaklıkta soğutucu ve plazma kuru aşındırma teknolojisi olarak kullanılır. Depolama önlemleri: Serin, havalandırılmış, yanıcı olmayan bir gaz deposunda saklayın. Ateş ve ısı kaynaklarından uzak tutun. Depolama sıcaklığı 30°C'yi geçmemelidir. Kolayca (yanabilen) yanıcı maddeler ve oksitleyicilerden ayrı olarak depolanmalı ve karışık depolamadan kaçınılmalıdır. Depolama alanı sızıntı acil müdahale ekipmanıyla donatılmalıdır.

Başvuru:

① Soğutucu akışkan:

Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu olarak kullanılır.

② Dağlama:

Elektronik mikro imalatında tek başına veya silikon, silikon dioksit ve silikon nitrür için plazma aşındırıcı olarak oksijenle kombinasyon halinde kullanılır.

Sıradan paket:

Avantajı:

①Yüksek saflıkta, en yeni tesis;

②ISO sertifika üreticisi;

③Hızlı teslimat;

④Her adımda kalite kontrolü için çevrimiçi analiz sistemi;

⑤Doldurmadan önce silindirin taşınması için yüksek gereksinim ve titiz süreç;